Thông tin Trung Quốc được cho là đã bắt đầu sản xuất hàng loạt máy quang khắc DUV tự phát triển đang làm rung chuyển ngành bán dẫn toàn cầu.
Dù chưa thể thay thế công nghệ EUV của ASML, bước tiến này vẫn được xem là cột mốc quan trọng, có thể làm thay đổi cuộc đua sản xuất chip trong nhiều năm tới.
Máy quang khắc DUV Trung Quốc khiến cổ phiếu chip Mỹ lao dốc
Thị trường chứng khoán Mỹ vừa chứng kiến một phiên giao dịch đầy biến động sau khi xuất hiện thông tin một doanh nghiệp tại Thượng Hải đã bắt đầu sản xuất hàng loạt máy quang khắc DUV dạng immersion do Trung Quốc tự phát triển.
Theo nhiều báo cáo trong ngành, đây là dòng thiết bị sản xuất chip cực kỳ quan trọng, vốn nhiều năm qua gần như nằm trong tay ASML và một số ít nhà cung cấp quốc tế. Thông tin này ngay lập tức khiến tâm lý nhà đầu tư đảo chiều. Giới phân tích cho rằng phản ứng mạnh của thị trường phản ánh lo ngại Trung Quốc đang từng bước giảm sự phụ thuộc vào công nghệ phương Tây sau nhiều năm bị hạn chế tiếp cận thiết bị sản xuất chip tiên tiến.
Máy quang khắc DUV có ý nghĩa lớn như thế nào?
Trong ngành bán dẫn, máy quang khắc DUV là thiết bị dùng để chiếu và khắc các mạch điện siêu nhỏ lên tấm wafer silicon, quyết định trực tiếp khả năng sản xuất chip.
Hiện nay có hai công nghệ chính:
- DUV (Deep Ultraviolet): sử dụng tia cực tím sâu, vẫn là công nghệ chủ lực để sản xuất nhiều dòng chip thương mại.
- EUV (Extreme Ultraviolet): công nghệ tiên tiến hơn, cần thiết cho các tiến trình hiện đại dưới 7 nm và hiện chỉ ASML có thể thương mại hóa.
Phiên bản Immersion DUV còn sử dụng lớp chất lỏng đặc biệt giữa thấu kính và wafer để tăng độ phân giải, cho phép chế tạo các mạch bán dẫn nhỏ hơn so với DUV thông thường.

Chính vì vậy, nếu Trung Quốc thực sự làm chủ được máy quang khắc DUV, nước này sẽ giảm đáng kể sự phụ thuộc vào nguồn cung nước ngoài đối với nhiều dòng chip quan trọng.
Đột phá lớn nhưng chưa đủ để thay thế ASML
Dù vậy, giới chuyên môn cho rằng còn quá sớm để khẳng định Trung Quốc đã bắt kịp ASML.
Các hệ thống máy quang khắc DUV nội địa vẫn cần trải qua thời gian dài kiểm chứng về độ ổn định, tỷ lệ thành phẩm và khả năng vận hành liên tục trên các dây chuyền sản xuất quy mô lớn tại SMIC, Hua Hong hay CXMT. Trong khi đó, ASML vẫn giữ vị thế độc quyền ở công nghệ quang khắc EUV – nền tảng không thể thiếu để sản xuất các chip tiên tiến nhất dưới 5 nm. Đây vẫn là khoảng cách công nghệ rất lớn mà Trung Quốc chưa thể thu hẹp trong ngắn hạn.

Ngoài ra, việc chế tạo được thiết bị mới chỉ là bước đầu. Để máy quang khắc DUV nội địa thực sự thay thế các hệ thống nhập khẩu, các nhà sản xuất còn phải chứng minh hiệu suất, độ tin cậy và khả năng sản xuất hàng loạt trong nhiều năm tới.
Cuộc đua bán dẫn bước sang giai đoạn mới
Trong vài năm qua, các biện pháp kiểm soát xuất khẩu của Mỹ và đồng minh đã hạn chế Trung Quốc tiếp cận nhiều thiết bị chế tạo chip tiên tiến. Tuy nhiên, thay vì làm chậm ngành bán dẫn Trung Quốc, nhiều chuyên gia cho rằng các lệnh hạn chế này đã thúc đẩy Bắc Kinh tăng tốc đầu tư vào nghiên cứu và phát triển công nghệ trong nước.
Nếu máy quang khắc DUV nội địa được thương mại hóa thành công, Trung Quốc sẽ có thêm một mắt xích quan trọng trong chuỗi sản xuất chip, giảm đáng kể sự phụ thuộc vào các nhà cung cấp nước ngoài.
Dẫu vậy, ở thời điểm hiện tại, ASML vẫn là doanh nghiệp duy nhất trên thế giới sở hữu công nghệ EUV thương mại và tiếp tục giữ lợi thế lớn ở phân khúc bán dẫn tiên tiến nhất. Cuộc cạnh tranh giữa hai bên vì thế được dự báo sẽ còn kéo dài trong nhiều năm tới.


